高雄市政府 SBIR 廠商埃爾思公司研發 奈米探針 獲半導體大廠訂單

高市府經發局積極壯大半導體高雄隊，109年透過地方型 SBIR 計畫協助新創 埃爾思 科技研發10奈米以下客製 奈米探針 ，作為先進 半導體 製程檢測設備關鍵耗材，今（111）年訂單上看300萬元，並與國際大廠合作開發以原子級針尖為核心的氣體場離子源聚焦離子束設備（GFIS-FIB），目前已取得美國專利，第一代設備預計於113年上市。

埃爾思董事長兼總經理張維哲擁有成大機械博士學位，曾任職中研院物理所多年，108年在高雄成立 埃爾思科技 （ALES Tech），核心團隊專精電化學與表面處理技術，投入先進半導體製程測試必需的聚焦離子束設備及 奈米探針 研發，109年獲高雄市地方型 SBIR 補助，完成多項客製 奈米探針 技術研發，今年獲竹科 半導體 大廠供應鏈採購。

張維哲表示，公司取名埃爾思ALES (Atomic Level Emission Source)，意指原子尺寸的場發射光源，正是公司核心技術「單原子針尖製造技術」的縮寫。他指出，因應 半導體 市場需求，埃爾思開發針尖曲率更小的 奈米探針 用於電性檢測，同時更掌握用於先進 半導體 晶圓檢測、電路修補與特徵加工，原子等級的氣體場離子源聚焦離子束設備（GFIS-FIB）開發技術，超前部署未來 半導體 先進製程需求商機。

張維哲感謝經發局透過 SBIR 計畫補助提升公司研發量能，並透過進駐KO-IN智高點的誠研創新科技投資育成公司，給予公司投資、合作與技術探勘，爭取科研創業資源，推動技術商業化。今年除取得逾300萬元 奈米探針 訂單，將積極與代理商合作布局新加坡等東南亞及其他海外市場。未來埃爾思將持續精進核心技術，維持業界領先地位，進軍全球先進半導體市場，成為高雄半導體領域新創模範生。

經發局長廖泰翔指出， 半導體 是台灣關鍵產業，全球各國積極投入發展。為維持台灣 半導體 領先地位，市長陳其邁上任後配合中央推動南部 半導體 S廊帶計畫，緊緊緊招募台積電、默克、英特格等大廠落地，也成立S廊帶產學大聯盟，結合產官學界資源，增加產業鏈韌性與彈性，將持續透過KO-IN、DAKUO等基地媒合新創與大廠，以大帶小加速產業轉型升級，歡迎更多優秀新創來高雄發展，市府一定會提供最好的服務。

記者

TPN新聞 實習編輯

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